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铁电分析仪是材料与微电子领域专门用于定量表征铁电材料极化—电场（P-E）响应关系的精密电学测试系统。它通过对铁电薄膜、厚膜或块体陶瓷施加可控交变电场并同步测量感应电荷，绘制电滞回线，提取饱和极化Ps、剩余极化Pr、矫顽场Ec等关键物理量，还可完成疲劳、保持、印迹及PUND脉冲分离测试，是铁电存储器、无铅/含铅压电陶瓷、弛豫铁电单晶及HfO?基薄膜研发的核心表征手段。
一、工作原理
基于铁电材料独特的自发极化特性。在没有外电场作用时，铁电材料内部的正负电荷中心不重合，存在自发极化；当施加外电场时，自发极化方向会发生改变，且极化强度与外电场之间存在特定的关系。铁电分析仪通过精确控制和测量施加在样品上的电场强度以及相应的极化强度、电流、电容等物理量，来深入研究铁电材料的性能。
二、铁电分析仪详细参数说明
1.主机基本参数：
主机测试电压范围：0~± 100V
18位的模数转换器；内部同步时钟的响应速度25ns
2.电滞回线测试参数：
测量频率：0.03Hz~5kHz；
电荷测量解析度范围：10fC~276uC
材料测量面积解析度范围1?m2 ~2.76cm2
在使用外部高压电源时测量电荷的大解析度为27.6mC
3.记忆特性测试参数：
五脉冲系列测试铁电体记忆特性
脉冲测试：50us~1s
0V上升到5V的快时间：40us
5个脉冲的电压，宽度，预设直流偏压和偏置时间可以任意设定
脉冲之间大可以设定40000秒的延迟
4.漏电流测试
可进行漏电流-偏置电压测试和漏电流-时间测试
分辨率：1pA
大漏电流测试：12.5mA
5.疲劳测试
大疲劳测量频率：20kHz
小脉冲宽度：50us
三、铁电分析仪主要测试模式
1.P-E电滞回线测试：准静态三角波测完整回线；扫频观察介质损耗致回线展宽；可多点电压扫描得Ps(E)、Pr(E)、Ec(E)变化趋势。
2.漏电流测试：恒压下监测pA～nA级漏电流，评估绝缘性及疲劳诱因。
3.疲劳测试：施加高频极化反转脉冲（可达100kHz～1MHz），周期性暂停测剩余极化衰减曲线→极化保持率vs循环次数。
4.保持/印迹测试：写入后延时读回极化状态，考察非挥发性保持能力及内建场偏移（Imprint）。
5.PUND脉冲测试：标准四脉冲序列分离铁电开关电荷与线性/介电极化及漏电流，是FeRAM单元表征的金标准。
6.小信号C-V/I-V扫描（部分机型）：辅助分析介电反常与相变温度。
更多产品信息来源：http://www.labmates.com.cn/Products-31246492.html
https://www.chem17.com/st342761/product_31246492.html
铁电分析仪主要的几种测试模式