上海方瑞仪器有限公司

PHO-SC-4 光源，属于LDLS激光维持等离子体光源，以高能激光维持氙等离子体发光，输出深紫外?近红外连续宽谱，对比传统短弧氙灯，具备深紫外亮度高、发光点小、寿命长、光输出稳定性优异的特点，广泛用于光谱仪器、半导体检测、材料表征、科研计量等精密光学场景。

工作原理
系统分为激光驱动单元、等离子体灯室、电源控制模块三部分。
1.初始点火：灯室内电极高压击穿氙气，产生初始等离子体；
2.激光维持：高能泵浦激光聚焦射入灯室，持续加热氙等离子体至约20000K高温；点火完成后电极不再参与工作，无电极烧蚀损耗；
3.高温等离子体辐射出连续宽谱光，通过光学窗口输出；
区别传统氙弧灯：传统氙灯依靠电极电弧放电，电极持续蒸发损耗；PHO?SC?4仅电极做启动点火，工作阶段由激光维持等离子体，大幅延长灯泡寿命。

核心技术参数
1.光谱范围：170?2500?nm
2.输出光总功率：≥8W
3.功率稳定性：±0.2%
4.发光点尺寸：137?μm×363?μm
5.光谱辐射亮度：>75?mW/(mm?·sr·nm)@500?nm
6.使用寿命：10000?h
7.冷却方式：水冷
8.供电：100?240VAC，50?60Hz
9.工作环境温度：15?35℃；储存?10?40℃
10.输出形式：自由空间输出

产品主要特点
1.超宽连续光谱：单光源覆盖深紫外到近红外，一台设备可替代多台单色光源，简化光学系统搭建。
2.微米级微小发光点：发光点尺寸远小于传统氙灯，光学耦合效率高，易实现平行光、会聚光输出，适合光谱仪、椭偏仪、膜厚测量系统。
3.超长使用寿命：10000小时灯泡寿命，电极不参与持续工作，无电极烧蚀；相比传统氙灯（几百?2000小时），降低更换维护成本。
4.高输出稳定性：光功率长期稳定性±0.2%，保证光谱测试、膜厚测量结果重复性，适合计量、检测仪器。
5.模块化分体结构：光源头与驱动电源分离，光源头体积小巧，便于集成到设备内部；自带状态监测，实时监控光功率、灯体温度。

光源应用领域
1.半导体与精密检测：晶圆缺陷检测、薄膜厚度测量、椭偏光谱测量、光学计量；
2.科研光谱分析：紫外?可见?近红外光谱仪、圆二色光谱、吸收光谱、荧光光谱、材料光学表征；
3.材料科学：光伏材料、化合物半导体、薄膜材料光学性能测试；
4.生物医学：OCT光学相干断层成像、光动力、病理荧光成像；
5.遥感与光学仪器：光谱遥感、光谱校准、光学系统标定。

光源选型与使用注意事项
1.光源为水冷散热，必须配套循环水冷机，禁止无水开机；
2.深紫外波段光学窗口会随使用老化，定期检查光学窗口；
3.设备需要稳定供电，建议配UPS，避免电压波动造成光源异常；
4.光源头为精密光学器件，避免震动、撞击；
5.如需光纤输出，需要选配专用光纤耦合模块；
6.适合集成到光谱仪、椭偏仪、膜厚测试仪；不适合大功率照明场景。

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